SERVICES
5 つのサービスを、ひとつの窓口で
装置、移設、プロセス、人材、AI まで責任を切り分けません。
01 / PROCUREMENT
装置の調達・販売
主要 9 プロセス装置の選定、調達、保守サポート。
対応範囲
- 主要 9 プロセス装置の調達、販売および保守
- 生産ライン目標に基づく機種比較と仕様確認
- 装置の現状確認、稼働履歴の照合、受入検査の支援
- 予備品、消耗品および保守計画の立案
サービスの進め方
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01
ご要望の整理
プロセスノード、生産能力目標、ユーティリティ条件。
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02
機種のご提案
ブランド横断の比較と実現性評価。
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03
商談の実行
見積、条件確認、納期計画。
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04
受入検査・納品
出荷前検査と納品書類の整理。
成果物
- 機種比較・選定のご提案書
- 装置仕様とユーティリティ要件リスト
- 受入検査記録と納品書類
- 保守点検の推奨計画
上記の日系ブランド装置について、BETTER が調達、販売および保守サービスを提供します。ブランド名は装置の説明を目的として表示しています。関連するプロセスは装置・プロセスの全体像をご覧ください。
02 / RELOCATION
装置の解体・据付・輸送
旧工場での解体から新工場での立ち上げまで一貫して実行します。
対応範囲
- 解体前の状態記録、配管・配線のマーキング
- 精密な解体、防振・防湿梱包、治具の準備
- 越境輸送の計画と書類調整
- 搬入・位置決め、再据付、立ち上げ調整、機能確認
サービスの進め方
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01
現地調査
両拠点の現地調査と移設計画の策定。
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02
解体・梱包
精密な解体と標準化された保護梱包。
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03
輸送・受入
越境輸送の計画と到着時の受入確認。
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04
再据付・引き渡し
再据付、立ち上げ調整、引き渡し確認。
成果物
- 移設計画とリスクリスト
- 解体マーキングと部品照合記録
- 到着受入と再据付の報告書
- 立ち上げ調整の確認記録
03 / PROCESS TRANSFER
先端プロセス技術の導入
装置の能力を、安定して量産できるプロセス条件へ落とし込みます。
対応範囲
- プロセス条件の確立とパラメータウィンドウの設定
- 装置の立ち上げ調整、計測の整合、再現性の検証
- 歩留まりへの影響因子の洗い出しと改善方針
- 量産移行と標準作業の文書化
サービスの進め方
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01
現状把握
既存条件、計測手法、課題の定義。
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02
条件の確立
実験計画とパラメータウィンドウの確認。
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03
検証
再現性と装置間の一致性の確認。
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04
量産移行
文書化と引き継ぎ。
成果物
- プロセス条件とパラメータウィンドウの説明
- 検証データの整理
- 標準作業手順書の草案
プロジェクトの対象工程に応じて、主要 9 プロセスのページで取扱装置の範囲をご確認いただけます。
04 / TRAINING
先端半導体人材の育成
お客様チームが自立して操作・運用できる体制を築きます。
対応範囲
- 装置操作と安全基準のトレーニング
- 日常保守、保守点検、トラブルシューティングのトレーニング
- プロセス原理とパラメータの影響に関する実務講座
- AI データの読み解きとスマート化ツール活用のトレーニング
サービスの進め方
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01
スキル把握
現状スキルの把握とカリキュラムの設計。
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02
講座・実習
座学と実機での実習。
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03
効果測定
研修効果の評価と補強。
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04
教材の納品
教材と資料の納品。
成果物
- カスタマイズしたカリキュラム
- 操作・保守の教材
- 研修記録と評価結果
05 / AI INTEGRATION
AI と先端製造の統合
最先端アーキテクチャをベンチマークとして、検証可能なスマート化の仕組みを導入します。
対応範囲
- デジタルツイン：装置とプロセスの仮想モデルの構築
- 物理シミュレーション：プラズマ、熱伝導、イオン輸送のモデル適用
- 生成型リソグラフィと ILT：パターン生成と逆リソグラフィ補正
- 欠陥分類、歩留まり予測、時系列 FDC モデルの導入
サービスの進め方
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01
ご相談
適用シーンの特定と実現性評価。
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02
データ連携
センサー、計測、検査データの統合。
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03
モデル導入
ベンチマークアーキテクチャの選定と調整。
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04
検証・研修
指標の確認とお客様チームへの引き継ぎ。
成果物
- AI 適用シーンの評価レポート
- データ連携とモデル設定の説明書
- 検証指標と結果の整理
- 利用者向け研修教材
HOW WE WORK
標準サービスフロー
初回のご相談から長期保守まで、6 つの段階でご対応します。
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01
ご相談
プロセスノード、生産能力目標、設置場所とユーティリティの制約を整理し、プロジェクト範囲を定めます。
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02
評価・機種選定
ブランド横断で機種を比較し、仕様、納期、コストの面から実行可能な案をご提案します。
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03
調達・受入検査
商談条件を実行し、出荷前に状態確認と書類確認を完了します。
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04
解体・梱包・輸送
標準化された解体と保護梱包を行い、越境輸送と到着受入を計画します。
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05
据付・立ち上げ
搬入・位置決め、再据付、電気・水・ガスの接続を行い、機能とプロセスの立ち上げ調整まで実施します。
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06
研修・保守
操作・保守のトレーニングを行い、その後の保守点検とサポート体制を整えます。
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装置選定から据付、AI 導入まで、ワンストップでご対応します。