DeepOHeat-v1 （2025）
物理情報を用いて学習した熱シミュレーションのサロゲートモデルで、ホットプレートとウェーハの温度場を高速に予測します。
ベンチマーク／導入対象の最先端アーキテクチャ
THERMAL / BAKE
ベーク／熱処理工程の装置
Thermal / Bake
熱バジェットとバッチ間の再現性を管理する熱処理工程です。
EQUIPMENT SCOPE
取扱装置の範囲
- KOKUSAI ELECTRIC (KE) のベーク・熱処理装置
- TAZMO のベーク・熱処理装置
日系主力ブランドを中心に、ホットプレートモジュールとバッチ式熱処理装置をカバーします。
SERVICES
サービス内容
- 装置の調達と機種選定の評価
- 装置状態の確認と受入検査の支援
- 解体・梱包・越境輸送
- 搬入据付と温度均一性の立ち上げ調整
- 加熱モジュールの保守点検と予備品の計画
- 熱プロセス条件の導入
- 操作・保守要員の人材育成
AI INTEGRATION
AI 統合
以下は BETTER がベンチマークする第三者の最先端アーキテクチャです。
ThermEDGe / IREDGe
時間変化する消費電力と加熱分布から温度プロファイルを算出し、熱の不均一な領域を特定します。
ベンチマーク／導入対象の最先端アーキテクチャ
バッチ熱処理のデジタルツイン
バッチの昇降温カーブとウェーハボート位置の差異をシミュレーションし、熱バジェットの配分を最適化します。
ベンチマーク／導入対象の最先端アーキテクチャ
USE CASES
適用シーン
- レジストベークと熱処理の再現性要求が高い生産ライン
- 熱バジェットに制約のある先端ノードのプロセス
- 熱処理装置の移設と再校正
- 研究機関が熱プロセスの実験能力を立ち上げる場合
GET IN TOUCH
生産ラインのご要望をお聞かせください
装置選定から据付、AI 導入まで、ワンストップでご対応します。