INSPECTION & TEST

ウェーハ検査・テスト装置

Wafer Inspection & Test

全ラインを貫く計測、欠陥検査、電気特性テストです。

検査装置とウェーハのロードポートのクローズアップ。画面にウェーハマップが表示され、寒色の青い色調

EQUIPMENT SCOPE

取扱装置の範囲

  • ADVANTEST の半導体テスト装置
  • LASERTEC の検査・計測装置

日系主力ブランドを中心に、電気特性テストと光学/レーザー検査の装置をカバーします。

ウェーハマップの欠陥分布ビジュアライゼーションを画面に寄って撮影。色点の集まりが特徴的なパターンを形成

SERVICES

サービス内容

  • 装置の調達と機種選定の評価
  • 装置状態の確認と受入検査の支援
  • 解体・梱包・越境輸送
  • 搬入据付、校正と立ち上げ調整
  • 光学系とテストインターフェースの保守点検
  • 検査・テストフローの導入
  • データ判読と操作の人材育成

AI INTEGRATION

AI 統合

以下は BETTER がベンチマークする第三者の最先端アーキテクチャです。

G2LGAN+CNN (2025)

2 段階の GAN によるデータ拡張と MobileNetV2 を組み合わせ、クラス不均衡なウェーハマップの欠陥分類に対応します。

ベンチマーク指標:Accuracy 98.39%、F1 93.01%

ベンチマーク/導入対象の最先端アーキテクチャ

CNN-ESN (2026)

ResNet34 とエコーステートネットワークを組み合わせ、ノイズを含むウェーハマップでも識別のロバスト性を保ちます。

ベンチマーク指標:クリーン 94.74%、ノイズ 87.30%

ベンチマーク/導入対象の最先端アーキテクチャ

SEMVision H20 (2025)

生産ラインで継続学習する深層学習の画像分類により、e-beam 欠陥の再検査を高速化します。

ベンチマーク指標:再検査速度 3×、2nm/GAA 顧客に導入済み

ベンチマーク/導入対象の最先端アーキテクチャ

GPU リアルタイム適応テスト

GPU で加速した機械学習をテスト工程でリアルタイムに調整し、テスト時間を短縮します。

ベンチマーク指標:Blackwell 量産でテスト時間 -25%

ベンチマーク/導入対象の最先端アーキテクチャ

KGD/外れ値検出(GPR、コンフォーマル予測)

空間モデリングとコンフォーマル予測により、良品判定と外れ値検出の精度を高めます。

ベンチマーク指標:DPAT を上回る/Vmin 約 90% のカバレッジ保証

ベンチマーク/導入対象の最先端アーキテクチャ

InF-ATPG (2025)

FFR 分割に QGNN と DQN を組み合わせ、テストパターン生成を最適化します。

ベンチマーク指標:バックトラック -55.06%、UFP 0.50%

ベンチマーク/導入対象の最先端アーキテクチャ

AI ビジュアライゼーション:ウェーハマップ欠陥分類の結果と信頼度の棒グラフを並置

USE CASES

適用シーン

  • インライン欠陥検出とフィードバックの強化が必要な生産ライン
  • テスト時間とテストコストの負担が大きい後工程・テスト工場
  • 検査装置の移設と光学系の再校正
  • 研究機関が欠陥解析の実験能力を立ち上げる場合

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装置選定から据付、AI 導入まで、ワンストップでご対応します。