LithoDreamer／ILT
フォトマスクパターンを生成型・逆解析型で補正し、OPC の反復とパターン収束を高速化します。
ベンチマーク／導入対象の最先端アーキテクチャ
LITHOGRAPHY
リソグラフィ工程の装置
Lithography
露光と塗布・現像が、線幅・アライメント・パターン忠実度を決めます。
EQUIPMENT SCOPE
取扱装置の範囲
- NIKON の露光装置全シリーズ
- CANON の露光装置全シリーズ（ナノインプリント装置を含む）
- TEL のコータ／デベロッパ
- DNS のコータ／デベロッパ
日系主力ブランドを中心に、露光装置本体から塗布・現像トラックまでのライン構成をカバーします。
SERVICES
サービス内容
- 装置の調達と機種選定の評価
- 装置状態の確認と受入検査の支援
- 解体・梱包・越境輸送
- 搬入据付、アライメントと立ち上げ調整
- 保守点検と予備品の計画
- リソグラフィのプロセス技術導入
- 操作・保守要員の人材育成
AI INTEGRATION
AI 統合
以下は BETTER がベンチマークする第三者の最先端アーキテクチャです。
説明可能な GAT レイアウトホットスポット （ASP-DAC'26）
8 ヘッドのグラフアテンションネットワークでレイアウトのホットスポットを予測し、説明可能な根拠を提示します。
ベンチマーク／導入対象の最先端アーキテクチャ
トラック装置のデジタルツイン
塗布・現像トラックの仮想モデルを構築し、条件変更とスケジュールの影響をシミュレーションします。
ベンチマーク／導入対象の最先端アーキテクチャ
USE CASES
適用シーン
- 新規生産ラインで露光と塗布・現像を一括導入する場合
- 既存工場の増産、または装置移設による再構築
- 研究機関がリソグラフィの実験能力を立ち上げる場合
- 中古装置の購入にあたり状態確認と再立ち上げ支援が必要な場合
GET IN TOUCH
生産ラインのご要望をお聞かせください
装置選定から据付、AI 導入まで、ワンストップでご対応します。