主要 9 プロセスの装置総覧

ウェーハ製造は積層を繰り返す循環的な工程であり、パターンはまずフォトマスク上に形成され、リソグラフィ工程でウェーハへ転写されます。

エッチングが構造を定義し、CVD が薄膜を成膜し、ベークが熱バジェットを管理し、イオン注入がドーピングと電気特性を決定します。

CMP が平坦化を担い、ウェーハ洗浄がパーティクルと残渣を抑制し、検査は全ラインを通じてフィードバックを提供します。

9 つの工程は互いに上流・下流の関係にあり、いずれかの工程のばらつきは積層とともに拡大するため、装置とデータの一貫した戦略が必要です。