プラズマ物理シミュレーション＋チャンバーのデジタルツイン
物理モデルでプラズマ分布とエッチングレートを算出し、仮想チャンバー上で条件を事前検証します。
ベンチマーク／導入対象の最先端アーキテクチャ
ETCH
エッチング工程の装置
Etch
限界寸法と側壁形状を決定する重要な工程です。
EQUIPMENT SCOPE
取扱装置の範囲
- TEL の半導体エッチング装置
- SAMCO の半導体エッチング装置
日系主力ブランドを中心に、ドライエッチングとプラズマエッチングの装置構成をカバーします。
SERVICES
サービス内容
- 装置の調達と機種選定の評価
- 装置状態の確認と受入検査の支援
- 解体・梱包・越境輸送
- 搬入据付とプロセスの立ち上げ調整
- チャンバーの保守点検と消耗品の計画
- エッチングのプロセス技術導入
- 操作・保守要員の人材育成
AI INTEGRATION
AI 統合
以下は BETTER がベンチマークする第三者の最先端アーキテクチャです。
TSMC スマート製造 RNN 時系列 FDC＋連合学習
装置センサーの時系列から歩留まりに影響する欠陥を予測し、生データを共有せずに拠点間で協調学習します。
ベンチマーク／導入対象の最先端アーキテクチャ
終点検出（Endpoint Detection）
スペクトルと時系列信号からエッチングの終点を判定し、オーバーエッチとアンダーエッチを抑制します。
ベンチマーク／導入対象の最先端アーキテクチャ
USE CASES
適用シーン
- 限界寸法の制御要求が高まる生産ライン
- 化合物半導体および先端パッケージングのエッチング需要
- 移設後にエッチング条件の再構築が必要な工場
- 研究機関がエッチングの実験能力を立ち上げる場合
GET IN TOUCH
生産ラインのご要望をお聞かせください
装置選定から据付、AI 導入まで、ワンストップでご対応します。