DeepOHeat-v1 （2025）
以 DeepONet＋KAN 建立热场代理模型，快速推算腔体与晶圆热分布。
对标／导入的前沿架构
CVD
化学气相沉积设备
Chemical Vapor Deposition
控制膜厚均匀性与台阶覆盖的薄膜沉积段。
EQUIPMENT SCOPE
设备范围
- KOKUSAI ELECTRIC (KE) 化学气相沉积设备
- MATSUSHITA 化学气相沉积设备
以日系主力品牌为主，涵盖批式与单片式薄膜沉积设备。
SERVICES
服务内容
- 设备采购与机型评估选型
- 设备状态查验与验机协助
- 拆机、包装与跨境运输
- 进场安装、气体管路接驳与调试
- 维护保养与耗材备件规划
- 薄膜工艺技术导入
- 操作与维护人员培训
AI INTEGRATION
AI 整合
以下为倍特尔对标导入的第三方前沿架构。
ThermEDGe / IREDGe
以 Encoder-Decoder CNN 推算温度轮廓与电热耦合影响。
对标／导入的前沿架构
腔体数字孪生
建立沉积腔体虚拟对照体，仿真气流、温度与膜厚均匀性。
对标／导入的前沿架构
USE CASES
适用场景
- 需要提升膜厚均匀性与批次一致性的产线
- 新增薄膜工艺能力的扩产项目
- 炉管设备移机与重新验证
- 研究机构建立薄膜沉积实验能力